硅质鳍片，应用于高温炉内保温桶中 通过支柱安装在保温桶底座上，根据不同湿氧工艺温度需求调整鳍片数量，能有效防止低工艺温度时水蒸气形成的水珠对工艺和器件产生不良影响，同时避免高工艺温度对工艺门密封部件造成的损伤。