盾源聚芯SiFusion产品托盘-宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司

精密硅制品 - 托盘

又称晶圆载盘，用于半导体CVD机台中承托wafer，在高温制程中有广泛应用。

技术优势

最小加工厚度达到1mm.纯度高，可回收再利用。